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ES612 ESD 測試儀 (HBM, HMM, MM)
ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計(jì)。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612 ESD測試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
特點(diǎn)
低寄生參數(shù)，高質(zhì)量脈沖
可定制，可擴(kuò)展
可搭配探針臺進(jìn)行晶圓級測試
外置可選配的自動(dòng)故障檢測模塊
觸摸控制面板
可固件升級
可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計(jì)。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612 ESD測試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
- 低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖
- 可定制，可擴(kuò)展
- 可搭配探針臺進(jìn)行晶圓級測試
- 外置可選配的自動(dòng)故障檢測模塊
- 觸摸控制面板
- 可固件升級
- 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測量軟件
- 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
- 用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級器件的通用ESD測試
- HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
- HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
- MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
ES612 控制主機(jī)
參數(shù) ES612-2K ES612-8K ES612-12K ES612-20K 單位 輸出電壓 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V 小輸出電壓步長 1V (500V以內(nèi)) 10V (2 kV以內(nèi))
1V (500V以內(nèi)) 10V (8 kV以內(nèi))
1V (500V以內(nèi)) 10V (12 kV以內(nèi))
1V (500V以內(nèi)) 10V (20 kV以內(nèi))
V, kV
輸出電壓精度 ± 1 % 或 ± 5 V % 尺寸 347 X 300 X 145 mm 重量 5 6 6 7 kg 電壓、電流測量 電壓、電流測量無源探頭 支持的示波器 Keysight， Tektronix，Lecory主流型號示波器 支持的SMU Keithley 24xx/26xx 系列 外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊
參數(shù) HBM-2K HBM -8K HBM -12K HBM -20K 單位 輸出電壓 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V 放電RC值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% 短路峰值電流Ips 0.67A ± 10 % per kV ns 短負(fù)荷上升時(shí)間Trs 2 < Trs < 10 ns 短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds 1300 < Tds < 1700 ns 短負(fù)荷振鈴Irs < 15% of Ips 500Ω負(fù)載峰值電流Ipr Ipr/Ips ≥ 63% 500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr 5 < Trr < 25 ns 外置人體-金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊
(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2009)
參數(shù) HMM-24K 單位 備注 HMM峰值電流 90 A 3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)
HMM電流@ 30 ns 48 A ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% ) HMM電流@ 60 ns 24 A ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% )
編號 型號 描述 ES612 ESD測試儀 1.1 ES612 ES612 ESD 測試儀控制主機(jī), 大輸出電壓 8 kV / 20 kV, RS232 SCPI 通訊端口
1.2 ES612-HBM 人體模型波形發(fā)生模塊（2管腳） 1.3 ES612-HMM 人體-金屬模型波形發(fā)生模塊（2管腳） 1.4 ES612-MM 機(jī)器模型波形發(fā)生模塊（2管腳） 其他配件選項(xiàng) 2.1 ES62x-PC-HBM 電腦（預(yù)裝脈沖及失效等級自動(dòng)檢測軟件） 2.2 KSMU2400 數(shù)字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測器件DC損傷檢測） 2.3 ES62X-CMPS 簡易手動(dòng)探針臺 2.4 ES62X-XYZM-TIM XYZ 微動(dòng)探針座 – XYZ 行程500 mils，步進(jìn)0.01mm 2.5 ES62X-XYZM-PAA PCB 探針臂套件，配備電壓測量探頭 2.6 ES62X-XYZM-GAA 接地探針臂套件 2.7 HBM-TC0.3 0.3 mm Pitch Test Clip 2.8 HBM-TC2.5 2.54 mm Pitch Test Clip 2.9 ES62X-XYZM-PP048 048 型號彈簧探針 2.10 ES62X-XYZM-PP075 075 型號彈簧探針 2.11 ES62X-XYZM-TN1 鎢鋼針